Das geplante Gebäude mit mehr als 4.000 Quadratmetern Nutzfläche besteht aus einem Institutsteil mit Büro und Laborflächen, einem Verbindungsbau mit Labor- und Seminarnutzung sowie einem Reinraumzentrum mit entsprechenden Forschungsbereichen.
Das Reinraumzentrum bildet das Herzstück des Bauvorhabens.
In den Reinraumlaboren wird Grundlagenforschung in der Mikro- und Nanoelektronik betrieben.
Integraler Bestandteil der Forschung und Lehre in diesem Bereich ist das Verstehen und Vermitteln von Werkstoffeigenschaften neuer elektronischer Materialien.
Ein Anwendungsbereich ist die Photovoltaik, zum Beispiel bei der Herstellung von Solarzellen.